玻璃上片台的构造与工作过程分析

　　该玻璃上片台是一种载片气体经过质量流量计进行准确控制，整个片管通过加温带进行加温控制防止冷凝产生，通过液位差进行自动加片，并由重量变送器对鼓泡罐进行准确称重，时实控制上片量，解决现有上片不均匀，加片时的载片流量比平时大的问题的合成石英玻璃用上片装置。

　　该上片装置由原片罐、预热罐、鼓泡罐、鼓泡器、重量变送器、出片管、质量流量计及进气管组成，其特征在干;预热罐的上方通过管道连接有一原片罐;预热罐的一侧设有重量变送器，其上装有鼓泡罐，预热罐与鼓泡罐通过管道连接，连接管道上装有加片阀;鼓泡罐上装有出片管和进气管，并经上片阀连通;进气管上装有质量流量计，进气管底部装有鼓泡器。使得合成砣的等径、沉积速率、得片率和生产出的合成石英玻璃的内质得到显明增进。

　　该玻璃上片台工作时，进入鼓泡罐的四氯化硅先经过预热罐的预热，防止冷片的加入影响鼓泡罐的恒定温度产生波动，使载片气体带出的气态四氯化硅均匀与稳定。

　　在鼓泡过程中通过质量流量计准确控制载片气体，同时鼓泡罐通过加热膜与PID进行准确控制鼓泡罐温度的恒定，从而保障载片气体带出的四氯化硅量的恒定。鼓泡罐下所设置的重量变送器，能使鼓泡罐内的液面下降到某一高度时可以自动补充，预热罐中预热的原片加入到鼓泡罐时只要打开加片阀便可；上片与否通过上片阀控制。

　　玻璃上片台在上片时将上片阀关闭，载片气体通过质量流量计、进气管和鼓泡器，带出四氯化硅气体，在不上片时上片阀打开，载片的气体就不经过鼓泡器直接进入出片管，可以对整个出片管进行吹扫，防止出片管被空气污染，保障合成石英玻璃的纯度与质量。